Miroirs déformables de haute précision et légers à base de silicium
Aperçu
Nous visons à développer une nouvelle technologie de miroir légère, hybride et très rapide basée sur les procédés de fabrication de membranes de silicium autoportantes avec des zones localement dopées.
Gil Moretto, CRAL/CNRS
Mohamed SAADAOUI, Xavier BODDAERT, EMSE
Jean-Fabien Capsal, David Audigier, INSA-Lyon
Frederic Zamkotsian, LAM/CNRS
Nous développerons également une technologie de rupture qui n’utilise pas de céramique standard mais plutôt des actionneurs en polymère électroactif (EAP) imprimés en 3D pour produire, avec une réponse temporelle plus élevée (1 à 3 kHz), des déplacements importants et très précis conformes aux besoins des futurs instruments.
Faire évoluer
Nos recherches
Nouvelle génération de technologies de pointe pour les miroirs déformables hybrides et à grande vitesse.
- Combiner la fabrication additive de polymères électroactifs et une technologie de membrane de silicium autoportante.
- La métrologie et le contrôle synergiques de ces miroirs en silicium déformables à haute dynamique seront développés en utilisant un nouveau montage interférométrique à déphasage et des mesures de la forme et de la déformation en mode statique suivies par un nouvel interféromètre de Mach-Zehnder à résolution nanométrique en boucle fermée et en temps réel.
Quatre composantes clés des nouvelles technologies:
- Membranes de silicium autoportante avec des zones localement dopées qui seront utilisées pour la première fois comme électrodes;
- Contrôle actif de la forme avec des actionneurs de force à plusieurs degrés de liberté via l’impression 3D pour : un nouveau polymère électroactif;
- Banc interférométrique à déphasage pour la caractérisation et les mesures à petite échelle de la forme et de la déformation de la surface de l’ouverture optique;
- Une nouvelle métrologie et un nouveau contrôle rapides du front d’onde optique.
Le consortium
CRAL/CNRS, LGEF INSA LYON, MINES St-Etienne, LAM/CNRS
… DES TECHNOLOGIES VISIONNAIRES OUVRANT DES VOIES PROMETTEUSES VERS DE NOUVEAUX INSTRUMENTS PUISSANTS
- Systèmes astronomiques ;
- Systèmes de communications optiques sans fil en espace libre ;
- Systèmes de collecte de la lumière pour la production d’énergie solaire propre sur Terre et dans les fermes solaires orbitales;
- Surveillance spatiale de la Terre et des environnements proches de la Terre pour la sécurité et les ressources.
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